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      4. 

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        企业荣誉
        

               
          
               
          
           
                 
           
                 
        国家科技进步奖
        


        National S&T Progress Awards 
        

           
                 
         












        
  
        
        
      2. 
      
        
        
          	 国家科技进步奖 
	        
        
        
              
      
    
        3. 
      
        
  
        
        
				

  
        

        






         












        
  
        
        
      3. 
      
        
        
          	 国家科学技术进步一等奖证书（上海光源） 
	        
        
        
              
      
    
        4. 
        
      4. 
      
        
        
          	 国家科技进步特等奖.1990 
	        
        
        
              
      
    
        5. 
        
      5. 
      
        
        
          	 国家科技进步三等奖.1999 
	        
        
        
              
      
    
        6. 
        
      6. 
      
        
        
          	 国家科技进步三等奖.1997 
	        
        
        
              
      
    
        7. 
        
      7. 
      
        
        
          	 国家科技进步二等奖.1993 
	        
        
        
              
      
    
        8. 
        
      8. 
      
        
        
          	 国家科技进步二等奖.1985 
	        
        
        
              
      
    
        9. 
      
        
  
        
        
				

  
        

        






               
          
        中科院及省部级科技进步奖
        


        Chinese Academy of Sciences and provincial and ministerial science and Technology Progress Award
        

           
                 
         












        
  
        
        
      9. 
      
        
        
          	 中科院科技成果（分子束外延设备）一等奖.1980 
	        
        
        
              
      
    
        10. 
        
      10. 
      
        
        
          	 中科院科技成果一等奖.1980 
	        
        
        
              
      
    
        11. 
        
      11. 
      
        
        
          	 中科院科技成果二等奖.1980 
	        
        
        
              
      
    
        12. 
        
      12. 
      
        
        
          	 辽宁省科学技术研究成果三等奖.1981 
	        
        
        
              
      
    
        13. 
        
      13. 
      
        
        
          	 中科院科技成果二等奖.1982 
	        
        
        
              
      
    
        14. 
        
      14. 
      
        
        
          	 中科院科学技术进步三等奖.1990 
	        
        
        
              
      
    
        15. 
        
      15. 
      
        
        
          	 中科院科学技术进步三等奖.1991 
	        
        
        
              
      
    
        16. 
        
      16. 
      
        
        
          	 中科院科学技术进步一等奖.1992 
	        
        
        
              
      
    
        17. 
        
      17. 
      
        
        
          	 中科院科学技术进步二等奖（超高真空磁控溅射）.1994 
	        
        
        
              
      
    
        18. 
        
      18. 
      
        
        
          	 中科院科学技术进步二等奖（软X射线）.1994 
	        
        
        
              
      
    
        19. 
        
      19. 
      
        
        
          	 中科院科学技术进步三等奖.1996 
	        
        
        
              
      
    
        20. 
        
      20. 
      
        
        
          	 中科院科学技术进步一等奖.1996 
	        
        
        
              
      
    
        21. 
        
      21. 
      
        
        
          	 中科院科学技术进步一等奖.1998 
	        
        
        
              
      
    
        22. 
        
      22. 
      
        
        
          	 辽宁省优秀新产品（公司）--2012.7 
	        
        
        
              
      
    
        23. 
        
      23. 
      
        
        
          	 辽宁省科学技术奖励.2015 
	        
        
        
              
      
    
        24. 
        
      24. 
      
        
        
          	 辽宁省科技进步奖（一等奖）--2018.5.4 
	        
        
        
              
      
    
        25. 
      
        
  
        
        
				

  
        

        






         












        
  
        
        
      25. 
      
        
        
          	 辽宁省科技进步三等奖.2003 
	        
        
        
              
      
    
        26. 
        
      26. 
      
        
        
          	 浙江省科技进步二等奖.2005 
	        
        
        
              
      
    
        27. 
        
      27. 
      
        
        
          	 上海市科学技术进步奖特等奖证书（上海光源）--2013.3 
	        
        
        
              
      
    
        28. 
        
      28. 
      
        
        
          	 教育部科技进步二等奖.2016 
	        
        
        
              
      
    
        29. 
      
        
  
        
        
				

  
        

        






               
          
        2020年度辽宁省专精特新“小巨人”证书
        

           
                 
         












        
  
        
        
      29. 
      
        
        
          	 2020年度中小企业“专精特新”产品 
	        
        
        
              
      
    
        30. 
        
      30. 
      
        
        
          	 2020年度“专精特新”中小企业 
	        
        
        
              
      
    
        31. 
      
        
  
        
        
				

  
        

        






               
          
               
          
               
          
               
          
               
          
               
          
               
          
           
                 
           
                 
           
                 
                 
         

        
    
        
        
    
        
    
        
        
    
        

        


                 
           
                 
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